【国民娱乐每日礼金gm777.top,2044彩票网站中大奖】我们为您提供2044彩票网站注册,2044彩票网站投注,2044彩票网站app,2044彩票网站平台,巨华彩票开户,充提快速,操控简单,为2044彩票网站彩民服务!

站內搜索:
   首頁 >> 儀器設備
 
微系統實驗室
 

   微系統實驗室現有高分辨率雙面對準曝光機(美國ABM公司)、真空蒸發鍍膜設備(日本ULVAC公司)、磁控濺射臺(中國科學院微電子中心)、等離子體增強型化學氣相沉積設備(日本Samco公司)、氧化/擴散爐(中國電子科技集團公司第四十八研究所)、多功能磁增強反應離子刻蝕機(中國科學院微電子中心)、光學外差微振動位移測量儀(日本NEOARK公司)、紫外光刻機和壓電薄膜性能測試裝置(自行研制)等檢測設備。服務項目:壓電陶瓷和硅基薄膜制備,體硅和薄膜刻蝕,微小振動和位移量測量等工作。

   主要設備:

高分辨率雙面對準曝光機

等離子體增強型化學氣相沉積設備(PECVD)

磁控濺射臺

多功能磁增強反應離子刻蝕機

氧化/擴散爐

真空蒸發鍍膜設備

 
 
  Copyright@2004 By 中國科學技術大學工程與材料實驗中心
地址:科大西區力學4樓107室 電話:0551-3600290 郵編:230027
2044彩票网站