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場發射透射電子顯微鏡(FETEM)
 

 

名稱:場發射透射電子顯微鏡(FETEM)

型號:JEM-2100F

廠商:日本電子株式會社

主要性能指標:

分辨率

 點分辨率

0.19nm

 線分辨率

0.1nm

加速電壓

200kV

 加速電壓最小步長

50V

束斑尺寸(直徑)

 TEM 模式

2~5nm 

 EDS/NBD/CBD 模式

0.5~2.4nm 

會聚束電子衍射(CBED)

 會聚角(2a)

1.5~20 mrad 

 接受角

±10°

放大倍數

 LOW MAG 模式

×50~6,000

 MAG 模式

×2,000~1,500,000

 SA MAG 模式

×8,000~800,000

相機長度

 SA DIFF模式

80~2,000mm

 HD衍射模式

4~80m

 HR衍射模式

333m

樣品室

 X、Y方向樣品平移

2mm

 Z方向樣品平移

±0.1mm

 樣品傾斜角度

X; ±25°,Y; ±25°

掃描透射裝置(STEM)

 明場像分辨率

0.2nm

X射線能譜分析

 固體角

0.13sr

 取出角

25°

儀器功能: 

1.TEM明、暗場成像觀察;

2.超高分辨晶格像觀察; 

3.STEM明場、HAADF暗場成像觀察; 

4.選區電子衍射;

5.匯聚束和納米束電子衍射; 

6.EDS微區化學元素分析;

7.EDS元素線掃描和面掃描像(mapping像)。

應用范圍:

1. 材料微觀組織、形貌、尺度等顯微結構觀察和分析;

2. 物相晶體結構、缺陷及取向關系檢測和分析;

3. 材料微區化學元素組成和分布檢測和分析。

 
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